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二硫化钼导热性能研究进展
文献摘要:
二硫化钼(MoS2)是一种层状过渡金属硫化物,近年来因其在导热方面的优势得到了人们的广泛关注.对MoS2导热性能的研究进行了综述.阐述了几种应用较广泛的MoS2制备方法,以及目前测量MoS2热导率的主要方法,包括实验方面的光热喇曼法、电子束自加热法、时域热反射(TDTR)法和理论模拟方面的分子动力学法、玻耳兹曼输运方程(BTE)法.介绍了MoS2独特的导热特性(尺寸效应、层间耦合、各向异性)以及MoS2在先进制程逻辑器件和光电探测器领域的研究进展.对MoS2在大规模工业化制备、热导率的精确测量等方面面临的问题进行了总结,今后应重点研究应变对MoS2导热性能的影响以及改变MoS2内部结构实现可调节的导热性能.
文献关键词:
二硫化钼(MoS2);热导率;导热特性;逻辑器件;光电探测器
中图分类号:
作者姓名:
李斌;林欢;申福花
作者机构:
青岛理工大学环境与市政工程学院,山东青岛 266000
文献出处:
引用格式:
[1]李斌;林欢;申福花-.二硫化钼导热性能研究进展)[J].微纳电子技术,2022(06):529-537,605
A类:
TDTR
B类:
二硫化钼,导热性能,热性能研究,MoS2,层状过渡金属硫化物,制备方法,前测,热导率,主要方法,光热,电子束,加热法,时域热反射,理论模拟,分子动力学,玻耳兹曼,输运,BTE,导热特性,尺寸效应,层间耦合,各向异性,制程,逻辑器件,光电探测器,工业化制备,精确测量,可调节
AB值:
0.30833
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