典型文献
基于氟塑料的超洁净气动液体隔膜阀结构设计与制备
文献摘要：
湿法清洗制程是影响集成电路芯片良率的重要因素,气动液体隔膜阀是湿法装备中核心零部件之一.为了解决阀门的生产问题,以集成电路用超洁净气动液体隔膜阀为例,对其结构工作原理和关键密封件进行了论述,并基于氟塑料从原料、结构设计与优化、加工工艺和产品性能四个方面分析了超洁净气动液体隔膜阀生产需要解决的问题,同时也对未来同类阀门的设计指明了方向.
文献关键词：
集成电路;湿法清洗;氟塑料;气动隔膜阀门
中图分类号：
作者姓名：
唐金鑫;杜亮;李培源;陈波;李超波
作者机构：
中国科学院微电子研究所,北京 100029;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]唐金鑫;杜亮;李培源;陈波;李超波-.基于氟塑料的超洁净气动液体隔膜阀结构设计与制备)[J].电子工业专用设备,2022(05):5-9,28
A类：
气动隔膜阀门
B类：
氟塑料,洁净,净气,湿法清洗,制程,集成电路,良率,核心零部件,生产问题,路用,密封件,结构设计与优化,加工工艺,产品性能
AB值：
0.227552
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