典型文献
双动极板电容式压力敏感结构最优尺寸研究
文献摘要：
为提高双动极板接触电容式压力传感器设计效率,提出一种高效的设计方法.该方法可实现对指定量程和灵敏度的尺寸参数设计.通过有限元软件分析双动极板电容式压力敏感结构的极板厚度、极板半径与厚度比以及接触压力在不同情况下的输出特性,并结合膜片形变理论对腔体高度参数进行确定.结果表明,该方法在对指定量程的双动极板电容式压力芯片设计方面,具有较高的设计精度,并且能大幅度缩短接触电容式压力传感器的研发周期.
文献关键词：
MEMS压力传感器;双动极板;接触式电容传感器
中图分类号：
作者姓名：
韩贤雨;揣荣岩;李龙
作者机构：
沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳110870
文献出处：
引用格式：
[1]韩贤雨;揣荣岩;李龙-.双动极板电容式压力敏感结构最优尺寸研究)[J].微处理机,2022(05):21-24
A类：
双动极板,接触式电容传感器
B类：
压力敏感,接触电,电容式压力传感器,传感器设计,设计效率,量程,尺寸参数,参数设计,板厚,厚度比,接触压力,输出特性,结合膜,膜片,腔体,压力芯片,芯片设计,设计精度,短接,研发周期,MEMS
AB值：
0.250671
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