典型文献
大量程柔性电容式触觉传感器及其阵列
文献摘要：
触觉传感器在较大压力范围内保持较高灵敏度和稳定性是一个难题.研制了一种三明治结构的柔性电容式触觉传感器,电极采用具有微结构表面的导电海绵,介电层采用自制的聚偏二氟乙烯(PVDF)薄膜.构建传感器的电容和灵敏度数学模型.通过实验测试研究PVDF薄膜厚度对传感器的灵敏度和测量范围的影响,确定传感器介电层选用厚度为40 μm的PVDF薄膜.测试结果表明,该传感器最低检测限小、响应速度快、稳定性好,在0～3 kPa和3～50 kPa压力范围内灵敏度分别达到1.31和0.085 kPa-1.将传感器单元贴在橡胶手套上进行测试,结果表明该传感器能够进行简单的手势识别.制作传感器阵列可实现手指运动轨迹识别等复杂的触觉传感功能.
文献关键词：
柔性传感器;触觉传感器;聚偏二氟乙烯(PVDF)薄膜;导电海绵;三明治结构
中图分类号：
作者姓名：
卢海洋;姚涛;陈盛华;王志华
作者机构：
河北工业大学电气工程学院省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室,天津 300130;河北工业大学机械工程学院,天津 300130
文献出处：
引用格式：
[1]卢海洋;姚涛;陈盛华;王志华-.大量程柔性电容式触觉传感器及其阵列)[J].微纳电子技术,2022(07):657-664
A类：
导电海绵
B类：
大量程,电容式,触觉传感器,高灵敏度,三明治结构,微结构表面,介电层,聚偏二氟乙烯,PVDF,实验测试,测试研究,薄膜厚度,测量范围,检测限,响应速度快,kPa,传感器单元,手套,手势识别,传感器阵列,手指,运动轨迹,柔性传感器
AB值：
0.263336
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