典型文献
基于微半球结构液态金属弹性体的柔性电容式压力传感器
文献摘要：
为了提高电容式传感器的灵敏度,设计了基于微半球结构液态金属弹性体柔性电容式压力传感器.该传感器以液态金属(LM)和弹性体(Ecoflex 00-30)作为介电层材料,采用模板法构建出微半球结构弹性体表面,选用柔性印刷电路板(FPCB)作为传感器上下电极.研究分析了微半球结构和液态金属填料体积分数对传感器灵敏度的影响.实验结果表明,掺杂40％体积分数LM的微半球结构传感器灵敏度高(0.721 kPa-1)、检测极限低(<1.23 Pa)、响应时间短(<450 ms)、稳定性良好.该传感器可用于氢燃料电池气压泄漏检测.
文献关键词：
柔性;电容式压力传感器;液态金属;微结构;高灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
钟雅琪;张东光;张兴芳;杨嘉怡
作者机构：
太原理工大学化学化工学院,山西太原 030024;太原理工大学机械与运载工程学院,山西太原 030024;西安科技大学计算机科学与技术学院,陕西西安 710054
文献出处：
引用格式：
[1]钟雅琪;张东光;张兴芳;杨嘉怡-.基于微半球结构液态金属弹性体的柔性电容式压力传感器)[J].仪表技术与传感器,2022(03):23-28,44
A类：
B类：
半球,球结构,液态金属,弹性体,柔性电容式压力传感器,电容式传感器,LM,Ecoflex,介电层,模板法,柔性印刷电路板,FPCB,上下电,填料,传感器灵敏度,灵敏度高,kPa,检测极限,响应时间,ms,氢燃料电池,泄漏检测,高灵敏度
AB值：
0.253629
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