典型文献
基于信噪比的MEMS压力传感器设计与分析
文献摘要：
为了研制高精度MEMS压阻式压力传感器,基于信噪比对其压敏结构进行了设计与分析.首先运用ANSYS有限元模拟仿真获得了不同压敏电阻结构芯片的应力分布,并对其噪声和信噪比进行了理论分析,发现在低频区闪烁噪声是传感器噪声的主要来源.仿真结果表明,芯片结构对其噪声、输出信号和信噪比均存在影响,增加压敏电阻折叠条数通常有助于获得更低的噪声和更高的输出信号和信噪比,获得最大输出信号和信噪比最优的电阻长度分别出现在75μm和125μm左右.然后通过MEMS工艺制作部分传感器芯片并封装测试,实测信噪比与理论分析基本吻合.
文献关键词：
MEMS压阻式压力传感器;噪声;信噪比;传感器结构分析
中图分类号：
作者姓名：
冒晓莉;吴其宇;张加宏;李敏;赵雪伟
作者机构：
南京信息工程大学电子与信息工程学院,江苏南京 210044;南京信息工程大学,江苏省大气环境与装备技术协同创新中心,江苏南京 210044
文献出处：
引用格式：
[1]冒晓莉;吴其宇;张加宏;李敏;赵雪伟-.基于信噪比的MEMS压力传感器设计与分析)[J].仪表技术与传感器,2022(02):1-6,20
A类：
传感器结构分析
B类：
MEMS,传感器设计,设计与分析,压阻式压力传感器,有限元模拟,模拟仿真,压敏电阻,应力分布,闪烁噪声,传感器噪声,输出信号,折叠,条数,大输,工艺制作,封装测试
AB值：
0.243281
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