典型文献
高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器
文献摘要：
为了拓宽湿度传感器的应用范围,兼顾其可穿戴、低成本、高灵敏度等优点,提出了一种电容式纸基无湿敏材料湿度传感器.以叉指电极(interdigital electrode,IDE)为基本结构,利用有限元仿真软件COMSOL Multipysics仿真研究了IDE指数对传感器性能的影响,得到具有良好湿敏特性的传感器结构.利用丝网印刷工艺制作电容式纸基湿度传感器,进行湿敏特性测试,系统研究了纸基类型、工作频率对传感器性能的影响,验证了其工艺一致性、重复性和长期稳定性.实验结果表明:以柯达相纸为基底的20指IDE传感器在1 V/200 Hz的测试电压下具有高达7379％的灵敏度、响应/恢复时间为108 s/131 s,表现出良好的重复性和长期稳定性.
文献关键词：
电容式湿度传感器;有限元仿真;纸基底;叉指电极;无湿敏材料;湿敏特性
中图分类号：
作者姓名：
程子豪;宋智;夏雨人;薛严冰
作者机构：
大连交通大学自动化与电气工程学院,辽宁大连 116028;大连交通大学计算机与通信工程学院,辽宁大连 116028
文献出处：
引用格式：
[1]程子豪;宋智;夏雨人;薛严冰-.高灵敏纸基无湿敏材料电容式湿度传感器)[J].仪表技术与传感器,2022(06):18-22
A类：
无湿敏材料,Multipysics
B类：
电容式湿度传感器,传感器的应用,可穿戴,高灵敏度,叉指电极,interdigital,electrode,IDE,基本结构,有限元仿真,COMSOL,仿真研究,指数对,传感器性能,湿敏特性,传感器结构,丝网印刷,印刷工艺,工艺制作,基类,工作频率,工艺一致性,长期稳定性,柯达,相纸,测试电压,恢复时间,纸基底
AB值：
0.266075
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