典型文献
联动薄膜电容式压力传感器的特性分析与制备
文献摘要：
工业领域中,目前研发的高精度MEMS压力传感器大多基于接触电容式结构,这种结构虽然一定程度上改善了普通电容式压力传感器的非线性问题,但其线性响应范围较小,限制了应用与开发,线性度也需要进一步提高.文中采用联动膜电容式压力敏感结构对其进行了研究与制作.基于有限元方法对压力敏感结构的响应特性进行了分析,仿真结果表明,该结构在增加线性响应范围和提高线性度方面表现出显著优势.试制了量程为100 kP a的样品芯片,测试结果表明,在25～100 kP a的压力范围内,样品芯片的灵敏度达到0.058 pF/kPa,其非线性度为4.83％FS.
文献关键词：
MEMS;联动薄膜;压力敏感芯片;电容式;线性响应
中图分类号：
作者姓名：
张冰;揣荣岩;杨宇新;张贺;李新
作者机构：
沈阳工业大学信息科学与工程学院,辽宁沈阳 110870
文献出处：
引用格式：
[1]张冰;揣荣岩;杨宇新;张贺;李新-.联动薄膜电容式压力传感器的特性分析与制备)[J].仪表技术与传感器,2022(08):1-5
A类：
联动薄膜
B类：
薄膜电容,电容式压力传感器,工业领域,MEMS,接触电,式结构,通电,非线性问题,线性响应,响应范围,有限元方法,响应特性,加线,高线性度,显著优势,试制,量程,pF,kPa,非线性度,FS,压力敏感芯片
AB值：
0.281569
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
