典型文献
一种模态局部化压力传感器的设计与仿真
文献摘要：
为了进一步改善谐振式压力传感器的灵敏度,将模态局部化敏感机理应用于谐振式压力传感器,提出了一种基于二自由度谐振器的模态局部化压力传感器.对传感器的敏感膜片和二自由度谐振器进行了理论分析,利用COMSOL有限元软件对传感器的静态载荷和模态振型进行了仿真分析,得到了传感器的压力响应.仿真结果表明,基于幅值比输出的灵敏度为频率输出的473.6倍.
文献关键词：
微机电系统;模态局部化;谐振器;压力传感器;自由度;灵敏度;幅值比
中图分类号：
作者姓名：
康昊;曾一笑
作者机构：
西安近代化学研究所,陕西西安 710065;成都凯天电子股份有限公司,四川成都 610000
文献出处：
引用格式：
[1]康昊;曾一笑-.一种模态局部化压力传感器的设计与仿真)[J].仪表技术与传感器,2022(08):25-29
A类：
谐振式压力传感器
B类：
模态局部化,设计与仿真,敏感机理,二自由度,谐振器,敏感膜,膜片,COMSOL,静态载荷,模态振型,压力响应,幅值比,微机电系统
AB值：
0.220188
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