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差动平行极板变极距电容式传感器的误差校正方法
文献摘要：
差动式平行极板变极距电容式传感器应用广泛,但由于其存在差动电容器极板初始极距不同的问题,导致差动电容值非线性误差增大,影响了其测量精度.首先,基于差动式平行极板变极距电容器的工作原理,分析了误差产生机理;采用最小二乘法建立了误差分析模型,引入差动加权系数构建误差校正表达式,然后,利用线性拟合和残差平方和分析法求解差动加权系数的数值,进而对电容测量数据进行误差校正.仿真分析证明了误差校正方法的准确性和可行性.实验结果表明:使用该误差校正方法的非线性误差为2.79％,与直接差动法的非线性误差9.80％相比,非线性误差降低了71.53％,验证了该误差校正方法的有效性.
文献关键词：
差动电容;非线性误差;误差校正;最小二乘法;电容式传感器
中图分类号：
作者姓名：
蒲明辉;罗祺;张金皓;艾振军;苏飞;黄伟
作者机构：
广西大学机械工程学院,广西南宁 530004;广西制造系统与先进制造技术重点实验室,广西大学,广西南宁 530004;湖南科技大学智能制造研究院,湖南湘潭 411201
文献出处：
引用格式：
[1]蒲明辉;罗祺;张金皓;艾振军;苏飞;黄伟-.差动平行极板变极距电容式传感器的误差校正方法)[J].仪表技术与传感器,2022(03):33-39
A类：
差动法
B类：
平行极板,变极距,电容式传感器,误差校正,校正方法,差动电容,电容器,电容值,非线性误差,测量精度,产生机理,误差分析,加权系数,线性拟合,残差平方和,解差,电容测量,测量数据
AB值：
0.173776
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