提出了一种含有新型不规则形状的压力敏感膜的压阻式压力传感器,这种新型薄膜结构能够将整个膜面的应变聚集在四个局部区域内,从而提高传感器的灵敏度.惠斯通电桥被用来实现压强到电信号的转换,而电桥上的薄膜电阻刚好位于压力敏感膜片上的四个应变最大区域.实验测试表明,压力传感器能在3～129 kPa压强范围内正常工作,灵敏度为27.34μV/kPa,迟滞为1.2％,精度为±2.348％FS.此外,还在压力敏感膜外的零应变区集成了一个温敏电阻RT作为温度传感器,仿真和测试结果表明,压强不会干扰温敏电阻的工作.采用开尔文四线法来测量RT与温度的关系,测试结果表明温度传感器能在16～113℃的温度范围内工作,灵敏度为2.55Ω/℃,迟滞误差为0.1％,精度为±0.145％FS.

压阻式压力传感器;温度传感器;惠斯通电桥;开尔文四线法

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[1]陈果;王江;吴世海;王韬;张万里-.一种含有新型薄膜的硅基MEMS压力-温度集成传感器)[J].电子元件与材料,2022(08):822-826

开尔文四线法

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