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新型高温压力传感器的设计与性能测试
文献摘要：
针对高温恶劣环境下对压力参数的测试需求,以单晶蓝宝石为原材料,对无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了设计、工艺加工及性能测试.以压力膜片敏感原理为主要根据,结合不同的信号传输与提取方式,首先对LC谐振式的无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了设计,然后通过蓝宝石刻蚀、蓝宝石减薄、直接键合等3个关键工艺实现了蓝宝石密封压力腔的制备,利用丝网印刷工艺实现了电容极板、电感线圈与基底的金属化集成.最后通过搭建的高温-压力复合测试系统对制备的无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了高温环境下的性能测试.测试结果表明:制备的高温压力传感器能够实现800℃高温环境下60～210 kP a范围内的压力测试,800℃下传感器的灵敏度与零点温度漂移系数可达10.377 kHz/kPa和0.0296 MHz/℃.
文献关键词：
高温压力;蓝宝石;无线无源
中图分类号：
作者姓名：
苏燕;梁武
作者机构：
北海职业学院电子信息工程系,广西北海 536000
文献出处：
引用格式：
[1]苏燕;梁武-.新型高温压力传感器的设计与性能测试)[J].仪表技术与传感器,2022(02):25-30
A类：
B类：
高温压力传感器,设计与性能,恶劣环境,测试需求,单晶,蓝宝石,无线无源,工艺加工,膜片,信号传输,提取方式,LC,谐振式,石刻,刻蚀,减薄,直接键合,关键工艺,压力腔,丝网印刷,印刷工艺,极板,电感线圈,金属化,测试系统,高温环境,压力测试,下传,零点,温度漂移,kHz,kPa,MHz
AB值：
0.290127
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