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金刚石高温压力传感器芯片设计与研究
文献摘要：
金刚石拥有已知材料中最高的压阻系数,5.45 eV的高禁带宽度,其制成的高温压力传感器芯片,在理论上可以拥有更高的灵敏度和更高的抗辐射性能,可以适应高温、复杂电磁环境等领域.文中开发了一种新型金刚石高温压力传感器芯片的设计及制作方法,制成的传感器芯片在压力输出线性程度和迟滞方面对比已有文献报道表现优异.
文献关键词：
金刚石;压力传感器;高温;压阻系数;芯片;抗辐射
中图分类号：
作者姓名：
贾文博;张治国;李永清;祝永峰;任向阳
作者机构：
沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳 110043
文献出处：
引用格式：
[1]贾文博;张治国;李永清;祝永峰;任向阳-.金刚石高温压力传感器芯片设计与研究)[J].仪表技术与传感器,2022(05):19-23
A类：
压阻系数
B类：
金刚石,高温压力传感器,芯片设计,设计与研究,eV,禁带宽度,抗辐射性,辐射性能,复杂电磁环境,制作方法,压力输出,出线,迟滞
AB值：
0.208279
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