典型文献
改进灰狼算法提高数字光刻图像质量的研究
文献摘要：
图像失真问题是数字光刻系统中很重要的问题,为了优化数字光刻图形质量提出了一种改进的灰狼优化算法(F G W O).采用图形保真度作为适应度函数,掩模图案中的像素被用作灰狼个体,然后以狼群团体合作狩猎机制使掩模图形得到优化.对两种不同复杂度的数字掩模图形的仿真验证表明FGWO算法相比SFL-GWO算法和LGWO算法,图像误差分别降低了82.46％、76.74％和81.46％、75.03％.通过实验结果可以看出,同一实验环境下,FGWO算法优化后掩模光刻图形质量较之SFL-GWO算法和LGWO算法得到了很大的改善.
文献关键词：
图像失真问题;掩模优化;改进灰狼优化算法
中图分类号：
作者姓名：
杨成;刘红;王英志;胡俊
作者机构：
长春理工大学 光电工程学院,长春 130022;长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022
文献出处：
引用格式：
[1]杨成;刘红;王英志;胡俊-.改进灰狼算法提高数字光刻图像质量的研究)[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2022(06):59-66
A类：
图像失真问题,图形保真,FGWO
B类：
改进灰狼算法,数字光刻,图像质量,很重,形质,改进的灰狼优化算法,保真度,适应度函数,图案,像素,狼群,群团,团体合作,狩猎,仿真验证,SFL,LGWO,实验环境,算法优化,较之,掩模优化,改进灰狼优化算法
AB值：
0.303259
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