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氧化锆氧气检测系统在MOCVD设备上的应用研究
文献摘要：
金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备在生产过程中有严格的气密要求,为了实时检测MOCVD设备的气密性,该研究优化了氧化锆(ZrO2)传感器,并根据MOCVD C4机台的结构设计了氧气检测系统.实践证明:该系统能够长时间不间断地监测机台各腔室氧浓度,且能准确区分正常氧偏离和非正常泄漏,具有真空响应速度快、灵敏度高、稳定性好的特点,可有效弥补现有检测方法难以实时检测的不足.
文献关键词：
金属有机物化学气相沉积;氧化锆;氧气检测系统;氧浓度
中图分类号：
作者姓名：
徐丽平
作者机构：
黎明职业大学航空学院 福建 泉州362000
文献出处：
引用格式：
[1]徐丽平-.氧化锆氧气检测系统在MOCVD设备上的应用研究)[J].通化师范学院学报,2022(10):46-50
A类：
氧气检测系统
B类：
氧化锆,MOCVD,金属有机物化学气相沉积,实时检测,气密性,研究优化,ZrO2,C4,机台,不间断,腔室,氧浓度,常氧,非正常,响应速度快,灵敏度高
AB值：
0.265124
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