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化合物半导体MOCVD外延设备及其安全性保证
文献摘要：
本文通过对化合物半导体外延工序常用的MOCVD设备的生产工艺与设备组成、主要供应商、安全性保证措施进行了介绍,可以对MOCVD的生产车间的工程设计以及生产的安全运行提供一定的参考与帮助作用.
文献关键词：
MOCVD;生产工艺;设备组成;供应商;安全性
中图分类号：
作者姓名：
侯崇强;罗桥;白少鹏;赵海洋
作者机构：
世源科技工程有限公司
文献出处：
引用格式：
[1]侯崇强;罗桥;白少鹏;赵海洋-.化合物半导体MOCVD外延设备及其安全性保证)[J].中国集成电路,2022(12):73-76
A类：
B类：
化合物半导体,MOCVD,外延设备,工艺与设备,设备组成,供应商,保证措施,生产车间
AB值：
0.316749
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