典型文献
国内外半导体级多晶硅生产技术差距分析
文献摘要：
随着我国多晶硅生产技术的不断进步,半导体级多晶硅生产技术水平与国外的整体差距也在不断缩小,并在某些方面可比肩国际一流企业水平.由于国内从事大规模半导体级多晶硅生产技术研究起步较晚,相比于深耕几十年的国外一流企业,在某些细节上依然存在差距,本文主要从技术指标、关键设备材料、生产运营理念等方面分析其存在的差距.
文献关键词：
半导体级多晶硅;生产技术;差距
中图分类号：
作者姓名：
杨亮;于跃;陈远新;陈欢欢
作者机构：
内蒙古大全新能源有限公司
文献出处：
引用格式：
[1]杨亮;于跃;陈远新;陈欢欢-.国内外半导体级多晶硅生产技术差距分析)[J].中国集成电路,2022(11):17-20
A类：
半导体级多晶硅
B类：
多晶硅生产,技术差距,差距分析,生产技术水平,比肩,国际一流,一流企业,深耕,技术指标,关键设备,设备材料,生产运营,运营理念
AB值：
0.222261
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