典型文献
超薄多晶硅的掺杂、钝化及光伏特性研究
文献摘要：
本文对70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺、钝化性能及光伏特性进行了研究.确定了70 nm超薄多晶硅的掺杂工艺,研究表明当离子注入剂量为3.2×1015 cm-3,在855℃退火20 min时,70 nm超薄多晶硅的钝化性能可以达到与常规120 nm多晶硅相当的水平,且70 nm多晶硅的表面掺杂浓度达到5.6×1020 atoms/cm3,远高于120 nm掺杂多晶硅的表面掺杂浓度(2.5×1020 atoms/cm3).基于70 nm超薄多晶硅厚度减薄和高表面浓度掺杂的特点,较低的寄生吸收和强场钝化效应使得在大尺寸(6英寸)直拉单晶硅片上加工的N型TOPCon太阳能电池的光电转换效率得到明显提升,主要电性能参数表现为:电流Isc升高20 mA,串联电阻Rs降低,填充因子FF增加0.3％,光电转换效率升高0.13％.
文献关键词：
TOPCon太阳能电池;多晶硅;掺杂;离子注入;钝化接触;寄生吸收;光电转换效率
中图分类号：
作者姓名：
宋志成;杨露;张春福;刘大伟;倪玉凤;张婷;魏凯峰
作者机构：
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710000
文献出处：
引用格式：
[1]宋志成;杨露;张春福;刘大伟;倪玉凤;张婷;魏凯峰-.超薄多晶硅的掺杂、钝化及光伏特性研究)[J].人工晶体学报,2022(03):434-440
A类：
B类：
超薄,多晶硅,光伏特性,掺杂工艺,钝化性能,离子注入,注入剂量,退火,掺杂浓度,atoms,cm3,厚度减薄,高表面,表面浓度,寄生吸收,强场,场钝化,钝化效应,大尺寸,英寸,直拉,单晶硅片,TOPCon,太阳能电池,光电转换效率,电性能参数,参数表,Isc,mA,串联电阻,Rs,填充因子,FF,钝化接触
AB值：
0.332417
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