典型文献
一种具有屏蔽层的压力传感器工艺仿真与设计
文献摘要：
本文从传统多晶硅薄层作为屏蔽层的压力传感器的不足点入手,提出了一种在P型压敏电阻区域使用离子注入工艺进行磷掺杂,形成N型反型层作为压力传感器压敏电阻屏蔽层的方案.利用Sentaurus TCAD软件进行了工艺仿真,并模拟计算了屏蔽层对压敏电阻在外界电场和环境温度变化时所起的稳定性作用.
文献关键词：
屏蔽层;压力传感器;工艺仿真
中图分类号：
作者姓名：
廖启超;孙涛;徐昊;乔威
作者机构：
中国兵器工业第214研究所,安徽蚌埠,233000
文献出处：
引用格式：
[1]廖启超;孙涛;徐昊;乔威-.一种具有屏蔽层的压力传感器工艺仿真与设计)[J].电子制作,2022(14):23-26
A类：
B类：
屏蔽层,压力传感器,工艺仿真,多晶硅,薄层,压敏电阻,区域使用,离子注入,注入工艺,磷掺杂,Sentaurus,TCAD
AB值：
0.272957
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