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漏电低软度大的3300V FRD设计
文献摘要：
为了满足3300 V FRD反向漏电低,反向恢复软度大的应用要求,本文介绍了 一种新的FRD设计.该设计通过优化阳极掺杂,采用轻离子辐照和电子辐照相结合的寿命控制方式来增加FRD的反向恢复软度,降低FRD的漏电流,通过台阶形场板保护环结构来降低保护环的漏电流.采用8英寸平面栅加工工艺得到的芯片封装成了 3300 V/1500 A FRD模块.模块在高温150℃下的VF为2.18 V,漏电流IR为10 mA,反向恢复能量(Erec)为1665mJ,关断软度为3.67,反向恢复极限di/dt为8000A/us时承受的功率可达3210 kW.
文献关键词：
反向漏电流;软度;轻离子辐照;电子辐照;台阶形场板
中图分类号：
作者姓名：
高东岳;叶枫叶;张大华;骆健;周东海;冯会会
作者机构：
南瑞集团(国网电力科学研究院)有限公司;南瑞联研半导体有限责任公司
文献出处：
引用格式：
[1]高东岳;叶枫叶;张大华;骆健;周东海;冯会会-.漏电低软度大的3300V FRD设计)[J].中国集成电路,2022(03):61-65
A类：
3300V,轻离子辐照,台阶形场板,Erec,1665mJ,8000A
B类：
软度,FRD,反向恢复,应用要求,阳极,电子辐照,寿命控制,控制方式,保护环,来降,低保,英寸,加工工艺,芯片封装,装成,VF,mA,关断,di,dt,us,kW,反向漏电流
AB值：
0.263926
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