典型文献
集成电路制造装备中的气体纯化器应用
文献摘要：
阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路产业的发展步伐.
文献关键词：
集成电路制造;气体纯化器;国产化替代
中图分类号：
作者姓名：
刘皖南;郭仕通;霍金虎;冯玉扉;姜剑锋
作者机构：
大连华邦化学有限公司,辽宁 116085
文献出处：
引用格式：
[1]刘皖南;郭仕通;霍金虎;冯玉扉;姜剑锋-.集成电路制造装备中的气体纯化器应用)[J].集成电路应用,2022(02):40-41
A类：
气体纯化器
B类：
集成电路制造,制造装备,半导体制造,制造过程,国产化替代,集成电路产业
AB值：
0.169262
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