典型文献
载体驱动微机械陀螺仪结构优化及性能仿真
文献摘要：
MEMS陀螺仪是惯性制导系统中的关键仪表,其测量性能直接决定制导的精准度.但是,惯性制导系统旋转速度极高,其运动姿态难以准确实时测量.针对这一问题,研制了一种适用于高旋系统的载体驱动微机械陀螺仪.以提高机械灵敏度为目标,对载体驱动微机械陀螺仪进行了结构优化,使用MATLAB对敏感元件的结构参数进行了优化,利用COMSOL软件建立了仿真模型,对优化后的结构进行了模态分析、静力学分析、谐响应分析和重力分析,验证了优化方案的合理性.经结构优化后,陀螺仪的固有频率为201.3 Hz,机械灵敏度为13.3 nm/(°/s),较优化前提高了 57.2％.
文献关键词：
微机械陀螺仪;COMSOL仿真;有限元分析;结构优化
中图分类号：
作者姓名：
姜珊;张伟
作者机构：
北京信息科技大学传感器重点实验室,北京100101
文献出处：
引用格式：
[1]姜珊;张伟-.载体驱动微机械陀螺仪结构优化及性能仿真)[J].传感器世界,2022(08):10-16
A类：
重力分析
B类：
微机械陀螺仪,性能仿真,MEMS,制导系统,仪表,测量性能,旋转速度,运动姿态,实时测量,机械灵敏度,敏感元件,COMSOL,模态分析,静力学分析,谐响应分析,固有频率
AB值：
0.19494
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
