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纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法
文献摘要：
微机电系统(MEMS)矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测.为实现水听器的精准探测,提出了一种纤毛—硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器.设计了一种力矩平衡结构,利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分析模型,并对其静态分析、模态分析以及谐响应分析仿真.结果表明:矢量水听器灵敏度为-184.35 dB;可在0～100 gn载荷内正常工作;在工作带宽20～1000 Hz内能有效降低振动噪声带来的干扰.随后提出一种基于MEMS技术的可批量制造工艺,可确保硅柱与水听器的一体化集成,可极大提高矢量水听器的一致性.
文献关键词：
矢量水听器;微机电系统;有限元分析;振动抑制;制造工艺
中图分类号：
作者姓名：
苗晋威;杨沙沙;齐秉楠;乔庆宇;刘国昌;王任鑫
作者机构：
中北大学省部共建动态技术测试国家重点实验室,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]苗晋威;杨沙沙;齐秉楠;乔庆宇;刘国昌;王任鑫-.纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法)[J].传感器与微系统,2022(03):28-31
A类：
B类：
纤毛,MEMS,矢量水听器,制备方法,微机电系统,海浪,洋流,目标声,声源,可抑制,抑制振动,振动噪声,力矩平衡,平衡结构,COMSOL,有限元分析模型,静态分析,模态分析,谐响应分析,dB,gn,工作带宽,内能,降低振动,声带,制造工艺,一体化集成,振动抑制
AB值：
0.327711
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