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检测电极变形对MEMS陀螺仪振动性能的影响
文献摘要：
MEMS陀螺仪的振动环境性能是制约其应用的重要指标.针对MEMS音叉式陀螺仪,分析了检测电极在驱动运动作用下的变形对陀螺仪振动性能产生影响的机理.建立了振动环境中包含检测电极变形在内的误差信号模型,将误差信号的频率成分与角速率响应信号进行了对比分析.通过对检测质量的受力状态进行优化,降低了检测电极变形的有效值,将振动误差信号的幅度从25 dB降低到9 dB以下,大幅提升了MEMS陀螺仪的振动环境适应性.
文献关键词：
MEMS陀螺仪;振动性能;误差信号分析;音叉结构;静电驱动
中图分类号：
作者姓名：
徐淑静;卢新艳
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]徐淑静;卢新艳-.检测电极变形对MEMS陀螺仪振动性能的影响)[J].传感技术学报,2022(06):732-737
A类：
误差信号分析
B类：
MEMS,陀螺仪,振动性能,振动环境,环境性能,信号模型,角速率,响应信号,检测质量,受力状态,有效值,dB,环境适应性,音叉结构,静电驱动
AB值：
0.246485
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