典型文献
波浪式MEMS谐振陀螺的设计与研究
文献摘要：
提出并研制了一种具有高机械灵敏度和低零偏稳定性的新型波浪式MEMS谐振陀螺(WDRG).该结构的设计方法是将传统的环式MEMS谐振陀螺(DRG)转变为波浪式环,以提供更高的热弹性品质因数.此外,与传统DRG相比,WDRG具有更高的制造误差抗扰度.通过优化结构参数,进一步提高了 WDRG的性能.通过有限元法(FEM)给出了主要结构参数对WDRG性能的影响.优化后 WDRG的热弹性品质因数、机械灵敏度和偏置稳定性分别为450 k,1.05 μm/(°/s)和0.076(°)/h.与传统DRG相比,零偏稳定性降低了 90％,热弹性品质因数和机械灵敏度分别提高了 215％和950％.
文献关键词：
MEMS谐振陀螺;品质因数;机械灵敏度;偏置稳定性;有限元法
中图分类号：
作者姓名：
卢浩琳;张卫平;谷留涛
作者机构：
微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]卢浩琳;张卫平;谷留涛-.波浪式MEMS谐振陀螺的设计与研究)[J].半导体光电,2022(06):1049-1054
A类：
WDRG,偏置稳定性
B类：
波浪式,MEMS,谐振,陀螺,设计与研究,机械灵敏度,零偏稳定性,热弹性,品质因数,制造误差,抗扰度,优化结构,有限元法,FEM,主要结构,因数和
AB值：
0.203218
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