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栅极对微/纳等离子体场效应晶体管性能影响的仿真研究
文献摘要：
得益于等离子体器件和半导体工艺技术的不断融合,微/纳等离子体场效应器件已逐步得到了人们的重视与关注,近年来在输出功率、开关速度等性能方面得到了极大提升.但该种器件存在工作电压高、电极易损坏等问题,直接影响了其工作寿命和可靠性,阻碍了实用化发展.目前有研究初步发现,引入栅极结构可以调控微/纳等离子体场效应器件电极间隙内的电子浓度与分布,是降低器件工作电压、增大器件输出电流的有效方法.本文设计了不同栅极宽度与栅极数目结构的微/纳等离子体场效应晶体管,解决了Comsol仿真存在的大气压亚微米级别间隙下仿真不收敛的问题,实现了对栅压、栅极宽度、栅极数目对器件工作性能的影响研究.结果表明,增大栅极负压、加宽栅极宽度、增多栅极数目能有效地降低器件工作电压、提升工作电流,对于提高微/纳等离子体场效应晶体管实用化有重要的帮助.
文献关键词：
微/纳等离子体场效应晶体管;场发射;栅极;Comsol;工作电压;输出电流
中图分类号：
作者姓名：
赵海全;黄瑞涵;陈飞良;魏亚洲;赵键澎;李沫;张健
作者机构：
电子科技大学电子科学与工程学院,四川成都610054;电子科技大学先进毫米波技术集成攻关研究院,四川成都610054
文献出处：
引用格式：
[1]赵海全;黄瑞涵;陈飞良;魏亚洲;赵键澎;李沫;张健-.栅极对微/纳等离子体场效应晶体管性能影响的仿真研究)[J].真空电子技术,2022(06):43-48,93
A类：
B类：
栅极,场效应晶体管,仿真研究,半导体工艺,工艺技术,效应器,输出功率,该种,工作电压,易损,工作寿命,寿命和可靠性,实用化,电极间隙,电子浓度,大器,输出电流,极数,Comsol,大气压,亚微米级,真不,不收,工作性能,负压,加宽,场发射
AB值：
0.254274
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