典型文献
氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
文献摘要：
阐述了氧化铝(Al2O3)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构.通过Ar+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究.通过对氧化铝薄膜构造与缺陷建模,结合实验分析,验证了薄膜结构和缺陷理论.缺陷结构高度为(50±20)pm,氧化铝薄膜台阶的高度约200 pm,薄膜周期结构与DFT计算理论模型中单元的大小基本一致,实验结果与理论值基本吻合,为后期蒸镀钯(Pd)实验奠定了基础.
文献关键词：
氧化铝薄膜;超高真空非接触式调频原子力显微镜;缺陷理论
中图分类号：
作者姓名：
尚璐瑶;杨晓峰
作者机构：
中北大学理学院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]尚璐瑶;杨晓峰-.氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究)[J].传感器与微系统,2022(09):4-7,15
A类：
超高真空非接触式调频原子力显微镜
B类：
氧化铝薄膜,结构缺陷,Al2O3,缺陷结构,Ar+,溅射,退火,UHV,NC,AFM,测试技术,表征研究,薄膜结构,缺陷理论,pm,周期结构,DFT,计算理论,理论值,蒸镀,Pd
AB值：
0.264592
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