典型文献
ITO/Pt复合薄膜应变计制备及耐高温性能研究
文献摘要：
针对极端环境下发动机涡轮叶片的应变测试需求,采用脉冲激光沉积和磁控溅射的镀膜工艺在氧化铝陶瓷基底上制备了以ITO/P t复合薄膜为应变层的高温薄膜应变计,并研究了复合薄膜中ITO薄膜与P t薄膜的厚度比对ITO/P t复合薄膜应变计耐高温性能的影响.研究表明,复合薄膜厚度比为5.5:1时,ITO/Pt复合薄膜应变计在高温(1200℃)环境下具有比较稳定的电阻温度系数(TCR),为564.52×10-6℃-1.此外,还对ITO/Pt复合薄膜应变计常温下的电阻随应变的变化情况进行了测试,测试结果表明,应变计的电阻随应变呈线性变化,其应变灵敏系数(GF)为3.10.
文献关键词：
薄膜应变计;脉冲激光沉积;磁控溅射;耐高温性能;电阻温度系数;应变灵敏系数
中图分类号：
作者姓名：
姚雪;李硕林;谭秋林;张磊;董和磊
作者机构：
省部共建动态测试技术国家重点实验室,中北大学,山西太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]姚雪;李硕林;谭秋林;张磊;董和磊-.ITO/Pt复合薄膜应变计制备及耐高温性能研究)[J].仪表技术与传感器,2022(05):32-36,41
A类：
应变灵敏系数
B类：
ITO,Pt,复合薄膜,薄膜应变计,耐高温性能,对极,极端环境,发动机涡轮叶片,应变测试,测试需求,脉冲激光沉积,磁控溅射,镀膜工艺,氧化铝陶瓷,陶瓷基底,厚度比,薄膜厚度,比较稳定,电阻温度系数,TCR,常温下,线性变化,GF
AB值：
0.189722
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
