典型文献
退火时间对ITO薄膜应变计性能的影响
文献摘要：
薄膜应变计可以实现在高温、高压、高线速等复杂工况下对航空发动机压气机叶片应变信息的实时检测,对发动机的优化设计具有重要意义.基于磁控溅射工艺在氧化铝基底表面沉积氧化铟锡(ITO)薄膜,之后制作了 ITO薄膜应变计,研究了退火时间对ITO薄膜应变计性能的影响.结果表明,ITO薄膜的结晶度随退火时间的延长先增加后降低,导致其电导率先增强后减弱.ITO薄膜应变计在退火5、10、15和20 h时对应的应变系数分别为-2.36、-3.94、-3.56和-3.26,在退火25 h时应变响应较差,未获得其应变系数;在退火20 h时其电阻稳定性最好,电阻漂移率最小,应变循环响应一致性最好,故退火20 h为ITO薄膜应变计的最优退火参数.该结果对高温薄膜应变计的优化设计具有一定的指导意义.
文献关键词：
氧化铟锡(ITO);薄膜应变计;应变系数;电阻率;磁控溅射
中图分类号：
作者姓名：
杨涛;孙道恒;陈国淳;武超;海振银;陈沁楠;李鑫;何功汉
作者机构：
厦门大学航空航天学院机电工程系,福建厦门 361102;厦门大学物理科学与技术学院,福建厦门 361102
文献出处：
引用格式：
[1]杨涛;孙道恒;陈国淳;武超;海振银;陈沁楠;李鑫;何功汉-.退火时间对ITO薄膜应变计性能的影响)[J].微纳电子技术,2022(05):465-472
A类：
B类：
退火时间,ITO,薄膜应变计,高线,复杂工况,航空发动机,机压,压气机叶片,应变信息,实时检测,磁控溅射,射工,氧化铝,氧化铟锡,结晶度,电导率,应变系数,应变响应,未获,漂移率,循环响应,退火参数,电阻率
AB值：
0.218949
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
