典型文献
基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能
文献摘要：
真空/固体介质界面的绝缘性能相对较低,真空沿面闪络现象时有发生,严重威胁高压电气设备、脉冲功率系统的安全可靠运行.为提高陶瓷材料在真空中的表面绝缘性能,该文采用大气压等离子体沉积技术,以钛酸四乙酯与乙醇的混合溶液为前驱物,利用二元布气的反应器在陶瓷表面沉积二氧化钛(TiO2)薄膜.通过调控沉积条件,得到均匀致密的TiO2功能层,并对沉积改性前后材料表面的理化特性、表面电荷特性、电荷陷阱分布以及在真空中的沿面闪络特性进行测量和表征.实验结果表明:当基底温度为25℃时,大气压等离子体沉积处理在陶瓷表面引入TiO2功能层后,样品表面陷阱能级最低,电荷消散速度最快,与未处理样品相比,闪络电压提高39％;当基底温度升高至80℃时,TiO2功能层致密均匀,样品表面陷阱能级最高,电荷陷阱逐渐变为深陷阱,闪络电压提高58％.通过大气压等离子体改性技术在绝缘材料表面沉积TiO2功能层,能够有效提高陶瓷的表面绝缘性能,为后续工程应用提供新的改性途径.
文献关键词：
大气压等离子体;沉积氧化铝;陶瓷TiO2;表面电荷;闪络电压
中图分类号：
作者姓名：
赵鸣鸣;于维鑫;孔飞;章程;程显;邵涛
作者机构：
郑州大学电气工程学院 郑州 450052;中国科学院电工研究所等离子体科学和能源转化北京市国际科技合作基地 北京 100190;中国科学院大学 北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]赵鸣鸣;于维鑫;孔飞;章程;程显;邵涛-.基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能)[J].电工技术学报,2022(13):3404-3412
A类：
脉冲功率系统
B类：
大气压等离子体,TiO2,功能层,绝缘性能,沿面闪络,闪络现象,时有发生,高压电气设备,可靠运行,陶瓷材料,沉积技术,钛酸,四乙,乙酯,混合溶液,前驱,反应器,二氧化钛,沉积条件,理化特性,表面电荷,陷阱分布,闪络特性,基底温度,陷阱能级,消散,未处理,品相,闪络电压,深陷阱,等离子体改性,改性技术,绝缘材料,沉积氧化铝
AB值：
0.271289
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