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高Q值声表面波谐振器研究进展
文献摘要：
声表面波(SAW)谐振器作为各类SAW器件的核心元件,其性能决定SAW器件的各项指标,其中以谐振器品质因数(Q)值最重要.该文介绍了影响SAW谐振器Q值的因素,指出目前高Q值SAW谐振器的衬底结构大多为异质声学层结构,且异质声学层结构本质为一维声子晶体.结果表明,通过在谐振器的多个位置构建声子晶体对SAW谐振器的声场能量可实现全三维约束,以提升谐振器Q值,最后展望了高Q值SAW谐振器的理想结构.
文献关键词：
声表面波谐振器;品质因数;异质声学层;声子晶体;声场能量
中图分类号：
作者姓名：
赵钊;高杨;张树民
作者机构：
西南科技大学 信息工程学院,四川 绵阳 621010;特殊环境机器人技术 四川省重点实验室,四川 绵阳 621010;杭州左蓝微电子技术有限公司,浙江 杭州 310000
文献出处：
引用格式：
[1]赵钊;高杨;张树民-.高Q值声表面波谐振器研究进展)[J].压电与声光,2022(06):841-846
A类：
异质声学层
B类：
声表面波谐振器,SAW,品质因数,衬底,声子晶体,个位,声场能量
AB值：
0.11634
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