典型文献
AlN薄膜异质结构声波激发特性研究
文献摘要：
该文分别开发了两种基于AlN压电材料和原子数分数为10％的Sc掺杂AlN压电材料的薄膜叠层异质谐振器.通过有限元仿真和实验对比分析了器件的频率温度性能和Sc掺杂对谐振器声激励的影响.结果表明,Sc掺杂可能会影响压电薄膜叠层谐振器所激励声波的谐振频率、机电耦合系数和对应的频率温度系数(TCF),且对所激励声波的正反谐振点的TCF影响不同.此研究在传感及滤波器件领域极具应用潜力.
文献关键词：
谐振器;声波激励;氮化铝钪;温度稳定性;机电耦合系数
中图分类号：
作者姓名：
齐梦珂;李孟辉;程一民;潘虹芝;曹亮;牟笑静
作者机构：
重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400060;中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
文献出处：
引用格式：
[1]齐梦珂;李孟辉;程一民;潘虹芝;曹亮;牟笑静-.AlN薄膜异质结构声波激发特性研究)[J].压电与声光,2022(05):709-712
A类：
氮化铝钪
B类：
AlN,异质结构,压电材料,原子数,Sc,叠层,谐振器,有限元仿真,实验对比,温度性能,声激励,压电薄膜,谐振频率,机电耦合系数,频率温度系数,TCF,正反,反谐振,谐振点,滤波器,声波激励,温度稳定性
AB值：
0.3568
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