典型文献
单晶LNBAW谐振器有限元仿真研究
文献摘要：
利用离子注入剥离法(CIS)制备的铌酸锂(LN)压电薄膜可用于制备体声波(BAW)器件,近年来备受关注.滤波器的指标与谐振器的性能密切相关,但基于LN单晶薄膜的BAW谐振器,对其结构的仿真优化还未有较深入的报道.该文以LN单晶薄膜为核心压电层材料,构建了固态反射型(SMR)单晶薄膜谐振器有限元仿真模型,对其压电层厚度和布喇格反射层厚度进行了设计,并重点针对谐振器上电极的台阶结构进行了二维模型仿真,为高频LN BAW滤波器的制备提供了理论依据.
文献关键词：
铌酸锂(LN)单晶薄膜;固态反射型;有限元;机电耦合系数;谐振器
中图分类号：
作者姓名：
张沂;孙延龙
作者机构：
四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065;成都市雷翼电科科技有限公司,四川 成都 610037
文献出处：
引用格式：
[1]张沂;孙延龙-.单晶LNBAW谐振器有限元仿真研究)[J].压电与声光,2022(01):26-29
A类：
LNBAW,固态反射型
B类：
谐振器,有限元仿真,仿真研究,离子注入,剥离法,CIS,铌酸锂,压电薄膜,滤波器,单晶薄膜,仿真优化,SMR,反射层,二维模型,模型仿真,机电耦合系数
AB值：
0.23393
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