典型文献
超大带宽高频XBAR谐振器研究
文献摘要：
随着第五代移动通信(5G)时代的到来,高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求.该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR).该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6％,Q-3 dB为248;A3模式的谐振频率高达17.04 GHz,机电耦合系数为7.0％.该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10-6/℃和-38.5×10-6/℃.此外,该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构,该结构可以抑制寄生模式,提升谐振器性能.
文献关键词：
XBAR谐振器;高频率;超大带宽;5G通信;寄生模式
中图分类号：
作者姓名：
俞振一;郭瑜;傅肃磊;苏荣宣;李百川;张帅;徐惠平;潘峰;王为标
作者机构：
江南大学 物联网工程学院,江苏 无锡 214122;无锡市好达电子股份有限公司,江苏 无锡 214124;清华大学 材料学院,北京100084;上海师范大学 信息与机电工程学院,上海200234
文献出处：
引用格式：
[1]俞振一;郭瑜;傅肃磊;苏荣宣;李百川;张帅;徐惠平;潘峰;王为标-.超大带宽高频XBAR谐振器研究)[J].压电与声光,2022(05):700-703
A类：
XBAR,横向激发体声波谐振器
B类：
超大带宽,第五代移动通信,通信行业,设计制备,A1,谐振频率,GHz,机电耦合系数,dB,A3,温度漂移,TCF,叉指电极,IDT,寄生模式,高频率
AB值：
0.223429
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