典型文献
适用于宽带滤波器的I.H.P.SAW基底结构优化设计
文献摘要：
超级高性能(I.H.P.)SAW器件因具有优异的品质因数(Q)值及温度稳定性而备受关注.为用于宽带滤波器的研发,对双层结构(Cu电极/Y旋转5°切LiNbO3压电层/SiO2功能层/Si衬底)的I.H.P.SAW基底结构设计进行了研究.考虑质量加载效应,结合电极与压电层界面上的应力与自由电荷分布特点,采用精确的有限元/边界元法(FEM/BEM)理论进行研究.利用多层结构的连续性边界条件,计算多层复合格林函数以及谐振器导纳值,寻求谐振点与反谐振点之间最大频率差以优化基底结构尺寸.计算结果表明,对金属化比为0.5,结构周期(λ/2)为2μm的器件,当功能层、压电层、电极层厚分别为0.15λ、0.2λ、0.0375λ时,谐振频率点为880 MHz,反谐振点为1018 MHz,由此可获得138 MHz的最大频率差.此结论为应用于宽带滤波器的I.H.P.SAW器件的设计提供了指导.
文献关键词：
声表面波;I.H.P.SAW;有限元/边界元法(FEM/BEM);谐振器;格林函数;宽带滤波器
中图分类号：
作者姓名：
孙晓红;张晓东;杨以俊
作者机构：
苏州科技大学 电子与信息工程学院,江苏 苏州 215009
文献出处：
引用格式：
[1]孙晓红;张晓东;杨以俊-.适用于宽带滤波器的I.H.P.SAW基底结构优化设计)[J].压电与声光,2022(05):696-699
A类：
B类：
宽带滤波器,SAW,基底结构,结构优化设计,品质因数,温度稳定性,双层结构,LiNbO3,压电,SiO2,功能层,衬底,自由电荷,电荷分布,边界元法,FEM,BEM,多层结构,多层复合,格林函数,谐振器,导纳,谐振点,反谐振,结构尺寸,金属化,谐振频率,MHz,声表面波
AB值：
0.302682
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