典型文献
用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究
文献摘要：
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K2)和高谐振频率(f)特性,有望满足5 G应用的频段要求.然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低.该文提出一种具有SiO2温度补偿层的SiO2/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型.理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波.通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f～4.75 GHz)和大机电耦合系数(K2～8％),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF～-36.1×10-6/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10-6/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础.
文献关键词：
横向激发体声波谐振器;温度补偿;大机电耦合;高频
中图分类号：
作者姓名：
杜如帆;田亚会;张巧珍;李百川;李红浪
作者机构：
上海师范大学 信息与机电工程学院,上海 200234;中国科学院声学研究所,北京 100190;国家纳米科学中心,北京 100190
文献出处：
引用格式：
[1]杜如帆;田亚会;张巧珍;李百川;李红浪-.用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究)[J].压电与声光,2022(05):678-681
A类：
XBAR,横向激发体声波谐振器,大机电耦合
B类：
滤波器,LN,单晶薄膜,铌酸锂,机电耦合系数,K2,谐振频率,频段,温度稳定性,频率温度系数,TCF,SiO2,温度补偿,双层结构,层状结构,主模式,A1,兰姆波,优化结构,参数配置,GHz,温补,大带宽,声学
AB值：
0.247364
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