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压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
文献摘要：
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件.基于L WR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点.该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势.
文献关键词：
兰姆波谐振器(LWR);压电微机电系统(MEMS);横向激励声体波谐振器(XBAR);高次谐波组合模式谐振器(CORs);截面拉梅模式谐振器(CLMRs)
中图分类号：
作者姓名：
于晓权;何杰;马晋毅
作者机构：
中国电子科技集团公司 第二十四研究所,重庆400060;中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
文献出处：
引用格式：
[1]于晓权;何杰;马晋毅-.压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望)[J].压电与声光,2022(02):223-229,233
A类：
XBAR,CORs,CLMRs
B类：
压电,MEMS,兰姆波,最新进展,进展与展望,谐振器,LWR,微机电系统,声学,工作频率,机电耦合系数,高品质因数,低功耗,制造工艺,集成电路工艺,工艺兼容,单片,片晶,晶圆,多频率,滤波器,射频前端,端组,通信设备,集成化,氮化铝,AlN,铌酸锂薄膜,LNOI,最新成果,体波,高次谐波,组合模式
AB值：
0.311686
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