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Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究
文献摘要：
以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器.使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件.在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能.研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定.在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2％;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10-6 K-1.器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力.
文献关键词：
微型加热器;微机电系统;Evanohm合金;低温
中图分类号：
作者姓名：
仲逸飞;刘景全
作者机构：
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]仲逸飞;刘景全-.Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究)[J].传感器与微系统,2022(01):7-9,14
A类：
Evanohm,微型加热器
B类：
双环,环线,线型,AC,磁控溅射技术,硅基底,金薄膜,微机电系统,MEMS,微加工工艺,图形化,加热元件,常温下,加热性能,电学特性,深低温,步测,电学性能,电阻值,温度区间,Kondo,最小值,温度系数,温区,保持良好,低温环境
AB值：
0.311269
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