典型文献
透明导电ZnO:Al/Cu网格复合膜及其电加热性能
文献摘要：
为获得更优性能的无铟透明导电薄膜, 需要在不损害薄膜透光性的同时提高导电性能. 本文采用紫外光刻和磁控溅射, 在Cu网格的表面覆盖Al掺杂的ZnO (ZnO:Al, AZO) 薄膜, 制备透明导电的AZO/Cu网格复合膜. Cu网格的线宽低至15 μm, 透光性极高, 并且导电性能得到大幅度改善, 覆盖稳定的透明导电AZO薄膜为Cu网格提供屏障保护. 通过六边形网格形状的设计和工艺参数的优化, 制备出的复合膜的可见光波段透过率达到86.4％, 方块电阻降低至4.9 Ω/sq, 同时实现了高透光性和高导电性. 成本低廉、光电性能好且环境稳定的AZO/Cu网格复合膜在透明电子领域具有广泛的应用前景, 将其用于透明电加热膜, 可在较低电压下实现快速、均匀、稳定的电热响应, 有望作为透明的面发热膜应用于除雾除霜玻璃、热疗贴膜等.
文献关键词：
ZnO;金属网格;透明导电薄膜;电加热膜
中图分类号：
作者姓名：
陆杨丹;吕建国;杨汝琪;陆波静;朱丽萍;叶志镇
作者机构：
浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,杭州 310027
文献出处：
引用格式：
[1]陆杨丹;吕建国;杨汝琪;陆波静;朱丽萍;叶志镇-.透明导电ZnO:Al/Cu网格复合膜及其电加热性能)[J].物理学报,2022(18):285-292
A类：
电加热膜
B类：
ZnO,复合膜,电加热性能,更优性能,透明导电薄膜,高导电性,导电性能,紫外光刻,磁控溅射,AZO,线宽,屏障保护,六边形,可见光波段,透过率,方块电阻,sq,高透光性,光电性能,低电压,电热响应,膜应用,除雾,除霜,热疗,贴膜,金属网格
AB值：
0.30058
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