典型文献
一种双端排布热电堆结构设计与仿真优化
文献摘要：
微机电系统(MEMS)红外热电堆是光谱仪、气体传感器、远程温度传感器等现代信息探测系统的核心工作器件,较高的表面利用率和响应度以及更简易的制备工艺将是未来该类器件制造技术的发展趋势.分别采用热偶条双端对称排布、取消红外吸收区、扩大冷端欧姆接触面积、支撑膜边缘开通绝热槽、充分发挥氮化硅钝化与红外吸收双功能作用等设计理念,对热偶条温差分布进行优化,研究热电堆性能的变化规律.采用ANSYS Workbench有限元分析软件对器件进行仿真发现:当传感器设计尺寸为1.5 mm×1.5 mm×0.3 mm,有效面积为1.21 mm2,绝热槽为1.1 mm×20μm时,双端开槽的热电堆探测器在具备更低制备成本的同时表现出最优性能.通过与普通双端热电堆性能进行仿真对比,发现绝热槽的引入使得探测器输出电压提升88.5％.这为未来温度传感器的设计制造提供了新颖的思路.
文献关键词：
热电堆红外探测器;绝热槽;双端对称排布;Ansys workbench有限元分析
中图分类号：
作者姓名：
雷程;关一浩;梁庭;武学占;白悦杭;熊继军
作者机构：
中北大学动态测试技术省部共建国家重点实验室,山西 太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]雷程;关一浩;梁庭;武学占;白悦杭;熊继军-.一种双端排布热电堆结构设计与仿真优化)[J].传感技术学报,2022(05):573-580
A类：
双端对称排布,绝热槽,热电堆红外探测器
B类：
设计与仿真,仿真优化,微机电系统,MEMS,红外热,光谱仪,气体传感器,温度传感器,探测系统,核心工作,响应度,制备工艺,制造技术,热偶条,红外吸收,大冷,冷端,欧姆接触,接触面积,开通,氮化硅,钝化,双功能,功能作用,温差分布,电堆性能,Workbench,有限元分析软件,传感器设计,有效面积,mm2,开槽,制备成本,最优性能,仿真对比,输出电压,设计制造,Ansys,workbench
AB值：
0.298891
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