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双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究
文献摘要：
采用双离子束溅射沉积法(DIBSD)制备了用作高温绝缘层的Al2O3薄膜,分析了所制备Al2O3薄膜的表面和截面形貌,研究了溅射氧分压对薄膜氧铝元素比的影响,并进一步探讨了氧铝元素比对Al2O3薄膜高温绝缘性能的影响.研究结果表明:双离子束溅射沉积法制备的Al2O3薄膜表面平整度高,粗糙度约为2.86 nm,截面形貌致密,没有微裂纹、空隙等缺陷;溅射氧分压的提高可以增加所制备Al2O3薄膜的氧铝元素比例,18％溅射氧分压下制备的Al2O3薄膜O:Al约为1.44,接近Al2O3化合物的元素比;18％氧分压溅射的Al2O3薄膜,在1000℃具有6.5 MΩ的绝缘电阻值,高温绝缘性能良好.
文献关键词：
双离子束溅射沉积法;Al2O3薄膜;高温绝缘;溅射氧分压;氧铝元素比
中图分类号：
作者姓名：
闫博;黄漫国;郭林琪;梁晓波;张丛春
作者机构：
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240;航空工业北京长城航空测控技术研究所先进传感器技术中心,北京 101111;状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京 101111
文献出处：
引用格式：
[1]闫博;黄漫国;郭林琪;梁晓波;张丛春-.双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究)[J].测控技术,2022(12):8-12,35
A类：
双离子束溅射沉积法,DIBSD,溅射氧分压,氧铝元素比
B类：
Al2O3,高温绝缘,缘薄,绝缘层,截面形貌,绝缘性能,表面平整度,粗糙度,微裂纹,空隙,绝缘电阻,电阻值
AB值：
0.106299
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