典型文献
MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展
文献摘要：
光谱探测技术在未来智能装备中发挥着视觉检测、理化分析和过程控制等智能识别的作用,广泛应用于食品安全、医学诊断、环境监测、防伪鉴别、植物病害抑制、预警侦察等领域.传统光谱探测系统因受限于分光元件而存在体积大、成本高和定制化能力有限等问题.基于微机电系统(MEMS)技术的法布里-珀罗(FP)滤波芯片为微型化、低成本和定制化的光谱探测系统提供了新的解决途径.近三十年来,针对实用化MEMS-FP滤波芯片的研究已取得长足的进展,并已应用于实际的微小型光谱探测系统中,但在芯片制造、器件性能和系统集成方面仍面临诸多要攻克的难题.对MEMS-FP滤波芯片的原理和性能、器件分类、实用化研究进展进行了综述,并分析了目前存在的问题和未来的发展趋势.
文献关键词：
光学器件;法布里-珀罗滤波芯片;光谱探测;光谱成像;分光元件
中图分类号：
作者姓名：
周奎;单政;张倩;王谢君;周健;邓宸伟;虞益挺
作者机构：
西北工业大学宁波研究院,深圳研究院,机电学院,陕西西安710072;西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室,陕西省微纳机电系统重点实验室,陕西西安710072;西安现代控制技术研究所,陕西西安710065;北京理工大学信息与电子学院,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]周奎;单政;张倩;王谢君;周健;邓宸伟;虞益挺-.MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展)[J].光学学报,2022(08):1-22
A类：
B类：
MEMS,法布里,光谱探测,探测应用,探测技术,智能装备,视觉检测,理化分析,过程控制,智能识别,食品安全,医学诊断,环境监测,防伪,植物病害,侦察,探测系统,受限于,分光元件,定制化,微机电系统,FP,微型化,解决途径,三十年,实用化,微小型,芯片制造,器件性能,系统集成,攻克,光学器件,光谱成像
AB值：
0.367527
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
