典型文献
不同金属材料基底制备Al2O3薄膜的工艺优化研究
文献摘要：
为了提高应变式薄膜传感器的应变性能,基于304不锈钢基底薄膜传感器的研究,选取比304不锈钢更易感应应变的1060铝和H62黄铜作为应变式薄膜传感器基底,并计算设计了相应尺寸.通过溅射制备可以增强基底与绝缘层黏结性能的Al2O3过渡层,经XRD分析以及共聚焦显微镜观测发现,由于H62黄铜表面氧化缺陷导致无法形成非晶态的Al2O3薄膜,会造成开裂脱落,故优先选取1060铝制备Al2O3薄膜,对其工艺参数进行优化,得到优化后的制备工艺参数为溅射压强为0.8Pa、氩气流量为55sccm及基底偏压为-40V,在1060铝基底上制备的Al2O3薄膜粗糙度较优化前减少了 11.36％.
文献关键词：
铝合金;黄铜;磁控溅射;Al2O3薄膜
中图分类号：
作者姓名：
闫文韬;武文革;成云平;刘丽娟;宋丁;马如原;郜冉
作者机构：
中北大学机械工程学院
文献出处：
引用格式：
[1]闫文韬;武文革;成云平;刘丽娟;宋丁;马如原;郜冉-.不同金属材料基底制备Al2O3薄膜的工艺优化研究)[J].工具技术,2022(09):97-102
A类：
8Pa,55sccm,基底偏压
B类：
金属材料,基底制备,Al2O3,工艺优化研究,高应变,应变式,薄膜传感器,应变性,不锈钢基,H62,黄铜,绝缘层,黏结性能,过渡层,共聚焦显微镜,表面氧化,非晶态,开裂脱落,铝制,制备工艺参数,氩气流量,40V,粗糙度,铝合金,磁控溅射
AB值：
0.339522
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