典型文献
层状结构富Mg的Mg2Sn薄膜相组成与热电性能
文献摘要：
利用高真空磁控溅射设备,通过顺序沉积制备富Mg的Mg2Sn热电薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)以及能谱仪(EDS)研究了沉积薄膜的物相组成、表面和截面形貌、元素含量及分布.使用塞贝克(Seebeck)系数/电阻分析系统LSR-3测量了沉积薄膜的电阻率和Seebeck系数,进而研究不同Mg含量的Mg2Sn薄膜的功率因子.结果表明,采用磁控溅射法可以制备出立方反萤石结构的Mg2Sn相薄膜,XRD显示,沉积薄膜是由立方结构的Mg2Sn相和少量的纳米尺寸的金属Mg相组成.随着Mg靶溅射时间的增加,纳米金属Mg相的含量增加,电阻率和Seebeck系数均表现为先升高后降低,这归因于少量纳米金属Mg相与基体相之间存在相界面.适量的金属Mg相存在于Mg2Sn薄膜中,有利于提高Seebeck系数.含有适量纳米尺寸金属Mg相的Mg2Sn沉积膜,因其Seebeck系数较高,电阻率适当,可获得较高的功率因子.层状结构的Mg2Sn薄膜可显著提高Seebeck系数,尽管电阻率也增加,但最终使薄膜的功率因子显著提高.
文献关键词：
热电材料;Mg2Sn薄膜;Seebeck系数;层状结构;电阻率
中图分类号：
作者姓名：
刘莹;宋贵宏;李贵鹏;陈雨;胡方
作者机构：
沈阳工业大学 材料科学与工程学院,辽宁 沈阳110870
文献出处：
引用格式：
[1]刘莹;宋贵宏;李贵鹏;陈雨;胡方-.层状结构富Mg的Mg2Sn薄膜相组成与热电性能)[J].稀有金属材料与工程,2022(05):1780-1788
A类：
B类：
层状结构,Mg2Sn,热电性能,高真空,热电薄膜,能谱仪,EDS,物相组成,截面形貌,元素含量,塞贝克,Seebeck,LSR,电阻率,功率因子,磁控溅射法,萤石,石结构,纳米尺寸,溅射时间,纳米金属,归因于,相与,基体相,相界面,寸金,终使,热电材料
AB值：
0.255756
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