典型文献
磁控共溅射制备YbCu及YbCuAl非晶合金薄膜
文献摘要：
基于高通量材料基因工程,通过倾斜靶和调控单金属靶功率制备了化学组成连续变化的镱-铜(Yb-Cu)非晶合金金属薄膜,从而快速筛选出非晶形成范围,并且成功制备出YbCu非晶合金薄膜,同时研究了铝对YbCu非晶合金形成的影响,并制备了 YbCuAl非晶薄膜.当Yb含量在44.5％～46.5％(质量分数)时薄膜全部为非晶态.原子力扫描(AFM)结果表明YbCu非晶合金表面光滑无缺陷,高度绝对差仅为31.6 nm,薄膜呈现疏水性,最大疏水角为119°.YbCu和YbCuAl非晶薄膜最大方阻分别为551和1738 mΩ·□-1,合金元素Al对YbCu非晶薄膜性能产生了显著影响.YbCu(Al)非晶薄膜的成分筛选和制备加快了稀土基非晶新材料的开发.
文献关键词：
非晶合金薄膜;玻璃形成能力;YbCu合金;磁控溅射;高通量制备
中图分类号：
作者姓名：
崔红兵;张茂彩;王誉;辛博
作者机构：
包头稀土研究院 白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,内蒙古包头014030
文献出处：
引用格式：
[1]崔红兵;张茂彩;王誉;辛博-.磁控共溅射制备YbCu及YbCuAl非晶合金薄膜)[J].稀有金属材料与工程,2022(03):1040-1046
A类：
YbCu,YbCuAl,非晶合金薄膜
B类：
共溅射,材料基因工程,化学组成,金金,金属薄膜,快速筛选,晶形,非晶态,原子力,AFM,金表,表面光,无缺,疏水性,疏水角,方阻,合金元素,膜性能,分筛,稀土,土基,玻璃形成能力,磁控溅射,高通量制备
AB值：
0.235007
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