典型文献
铜合金表面过渡层厚度对Cr-DLC薄膜残余应力和结合性能的影响
文献摘要：
为提高铜合金表面Cr-DLC薄膜的膜/基结合性能,设计了Cr/CrN/Cr-DLC多层结构薄膜,采用磁控溅射/等离子辅助气相沉积方法在铜合金样品表面制备不同Cr粘结层厚度的Cr掺杂类金刚石(Cr-DLC)薄膜.利用高分辨拉曼光谱仪、薄膜应力仪、纳米压痕仪、划痕仪和连续冲击试验机分别对薄膜的微观结构、残余应力、纳米硬度和弹性模量、薄膜与基体结合性能和耐冲击韧性进行测试.结果表明,随着Cr粘结层厚度的增加,铜合金表面Cr-DLC薄膜的残余应力出现了先升高后降低的趋势,最小残余应力达到-0.47 GPa,降幅高达75.5％.薄膜的膜/基结合力随Cr粘结层厚度的增加而提高,当Cr粘结层厚度为1.01 μm时,Cr-DLC薄膜的膜/基结合力最佳,与无Cr粘结层Cr-DLC薄膜的第1(Lc1)和第2(Lc2)临界载荷相比分别提高69％和67％.经20 000次连续冲击试验,所有薄膜样品冲击坑的冲击深度均没有弹性恢复,薄膜在冲击坑的中心位置均出现一定面积的剥落,其中,Cr粘结层厚度1.01 μm的Cr-DLC薄膜样品的膜层剥落面积最小,表现出了最好的抗连续冲击的能力.一定厚度Cr粘结层能够大幅降低铜合金表面Cr-DLC薄膜的残余应力,提高膜/基结合力和耐冲击性能.
文献关键词：
铜合金;过渡层结构;残余应力;膜/基结合力;冲击试验
中图分类号：
作者姓名：
李振东;詹华;徐天杨;鲍曼雨;李碧晗;汪瑞军
作者机构：
北京金轮坤天特种机械有限公司,北京100083;中国农业机械化科学研究院,北京100083
文献出处：
引用格式：
[1]李振东;詹华;徐天杨;鲍曼雨;李碧晗;汪瑞军-.铜合金表面过渡层厚度对Cr-DLC薄膜残余应力和结合性能的影响)[J].稀有金属材料与工程,2022(04):1195-1202
A类：
Lc1,Lc2,过渡层结构
B类：
铜合金,金表,DLC,残余应力,结合性能,高铜,CrN,多层结构,磁控溅射,气相沉积,表面制备,粘结层,杂类,金刚石,拉曼光谱,光谱仪,薄膜应力,纳米压痕,压痕仪,划痕,冲击试验,试验机,纳米硬度,弹性模量,冲击韧性,力达,GPa,结合力,临界载荷,次连续,有弹性,弹性恢复,中心位置,膜层,剥落面积,耐冲击性,冲击性能
AB值：
0.255166
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