典型文献
基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响
文献摘要：
采用高功率脉冲磁控溅射方法在不同基体偏压下的钢基体上沉积含Cr过渡层的DLC薄膜.利用原子力显微镜、场发射扫描电镜、Raman光谱、动态超显微硬度计和划痕仪对薄膜的表面形貌、截面形貌、结构成分、力学性能进行表征.结果表明:随着基体偏压的增大,薄膜表面更加平整,表面粗糙度减小;不同基体偏压下制备的DLC薄膜与基体结合良好,厚度均匀,结构致密;Raman结果显示,ID/IG值随基体偏压的增大不断下降,薄膜中sp3含量逐渐增加;当基体偏压增大时,薄膜硬度和弹性模量均呈上升趋势,膜基结合强度增加.
文献关键词：
DLC;磁控溅射;基体偏压;表面粗糙度;硬度;结合力
中图分类号：
作者姓名：
贾昆鹏;徐锋;赵延超;王俊峰;左敦稳
作者机构：
南京航空航天大学 机电学院,江苏 南京210016
文献出处：
引用格式：
[1]贾昆鹏;徐锋;赵延超;王俊峰;左敦稳-.基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响)[J].机械制造与自动化,2022(01):7-10
A类：
B类：
基体偏压,DLC,薄膜结构,高功率脉冲磁控溅射,不同基体,过渡层,原子力显微镜,场发射扫描电镜,Raman,显微硬度,硬度计,划痕,表面形貌,截面形貌,表面粗糙度,ID,IG,sp3,弹性模量,膜基结合强度,结合力
AB值：
0.252082
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