典型文献
溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能的影响
文献摘要：
本文采用直流磁控溅射分层溅射制备了氧化铟锡(ITO)/银(Ag)/ITO多层复合薄膜.系统研究了溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能影响.采用ITO(m(In2O3):m(SnO2)=9:1;直径60 mm)靶材和Ag(纯度99.999％;直径60 mm)靶材分层溅射,使ITO薄膜和Ag薄膜依次沉积在钠-钙玻璃基片上.结果表明,溅射温度对该薄膜的形貌和结构具有显著的影响.在中间Ag薄膜和顶层ITO薄膜的溅射温度均为120℃时,薄膜表面晶粒形貌由类球形转变为菱形,此时薄膜方阻为3.68Ω/Sq,在488 nm处透射率为88.98％,且品质因数为0.03Ω-1,实现了低方阻高可见光透射率ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的制备.
文献关键词：
磁控溅射;分层溅射;复合薄膜;ITO薄膜;Ag薄膜;溅射温度
中图分类号：
作者姓名：
程媛媛;黄瑜佳;朱归胜;徐华蕊;万乐;焦培文;汪坤喆
作者机构：
桂林电子科技大学材料科学与工程学院,电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西信息材料重点实验室,桂林 541004;广西中沛光电科技有限公司,来宾 546100
文献出处：
引用格式：
[1]程媛媛;黄瑜佳;朱归胜;徐华蕊;万乐;焦培文;汪坤喆-.溅射温度对ITO/Ag/ITO多层复合薄膜的结构和光电性能的影响)[J].人工晶体学报,2022(06):1028-1033
A类：
分层溅射
B类：
溅射温度,ITO,Ag,多层复合,复合薄膜,光电性能,直流磁控溅射,氧化铟锡,In2O3,SnO2,靶材,玻璃基,基片,晶粒形貌,菱形,方阻,Sq,透射率,品质因数,可见光,光透射
AB值：
0.232359
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
