典型文献
SiN/Ag/SiN新型光谱选择性透过涂层的设计与制备
文献摘要：
光谱选择性透过涂层在节能窗上能有效反射红外光,通过减少室内外的热传递而降低能耗.本文分别测量SiN膜和Ag膜的透射光谱和光学常数,利用TFCale软件对SiN/Ag/SiN选择性透过涂层的各层厚度进行优化设计并利用磁控溅射进行制备.使用紫外-可见-近红外分光光度计(UV/VIS/NIR)、扫描电子显微镜(SEM)和俄歇电子能谱(AES)测试与表征涂层的选择透过特性、微观形貌与成分分布.结果表明,实际制备的涂层厚度及光学性能与理论设计值具有良好的一致性.当SiN/Ag/SiN涂层的各层厚度分别为30/15/35 nm时,其可见光和近红外波段的透射率分别为73.1％和17.2％,体现出明显的选择透过性.观察Ag膜的生长模式,发现15 nm的Ag膜仍处于岛状粒子生长阶段,上层的SiN层粒子会在沉积过程中进入Ag岛之间的缝隙.探究不同类型涂层的光学性能,发现金属Ag薄膜对选择透过涂层的红外透过率有显著影响,且外层的SiN薄膜是保证涂层可见光透过率的关键因素.
文献关键词：
光谱选择透过涂层;光学常数;优化设计;透射率
中图分类号：
作者姓名：
许科;杜淼;郝雷;米菁;于庆河;李帅
作者机构：
有研科技集团有限公司国家有色金属新能源材料与制品工程技术研究中心,北京100088;有研工程技术研究有限公司,北京101407;北京有色金属研究总院,北京100088
文献出处：
引用格式：
[1]许科;杜淼;郝雷;米菁;于庆河;李帅-.SiN/Ag/SiN新型光谱选择性透过涂层的设计与制备)[J].稀有金属,2022(08):1055-1062
A类：
TFCale,光谱选择透过涂层
B类：
SiN,Ag,光谱选择性,节能窗,窗上,室内外,热传递,降低能耗,透射光谱,光学常数,磁控溅射,射进,外分,分光光度计,UV,VIS,NIR,电子能谱,AES,微观形貌,成分分布,涂层厚度,光学性能,理论设计,设计值,近红外波段,透射率,选择透过性,生长模式,生长阶段,子会,沉积过程,缝隙,现金,红外透过率,外层,可见光透过率
AB值：
0.33421
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