典型文献
氧化铟基透明导电薄膜的研究进展
文献摘要：
透明导电氧化物(TCO)薄膜因其兼具透明和导电的特性,被广泛应用于各个领域中.氧化铟(In2O3)基TCO薄膜,因其高透明度、低电阻率、高迁移率和良好的化学稳定性而备受关注.综述了In2O3基TCO薄膜的研究进展,介绍了TCO薄膜种类及其常见的制备方法,归纳分析了锡掺In2O3(ITO)、钼掺In2O3(IMO)、钨掺In2O3(IWO)、钛掺In2O3(InTiO)等几种典型的In2O3基TCO薄膜研究现状,并对TCO薄膜未来的发展趋势进行了总结和展望.
文献关键词：
透明导电薄膜;掺杂氧化铟;磁控溅射;柔性
中图分类号：
作者姓名：
林剑荣;杜永权;梁瑞斌;陈建文;肖鹏
作者机构：
佛山科学技术学院物理与光电工程学院,粤港澳智能微纳光电技术联合实验室,广东 佛山 528000;佛山科学技术学院电子信息工程学院,广东 佛山528000
文献出处：
引用格式：
[1]林剑荣;杜永权;梁瑞斌;陈建文;肖鹏-.氧化铟基透明导电薄膜的研究进展)[J].材料研究与应用,2022(03):353-361
A类：
InTiO
B类：
透明导电薄膜,透明导电氧化物,TCO,In2O3,高透明,透明度,低电阻率,高迁移率,化学稳定性,制备方法,归纳分析,ITO,IMO,IWO,掺杂氧化铟,磁控溅射
AB值：
0.287631
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
